Холловские источники ионов с замкнутым дрейфом электронов

Изучаются, проектируются и испытываются новые источники ионов с принципиально новыми характеристиками. Удалось добиться, чтобы ионный пучок имел не кольцевую форму, а сходился в виде конуса на заданном фокусном расстоянии. Профиль ионного тока в фокусе имеет Гауссово распределение. Стекло, помещённое в область действия ионного пучка взрывается в течение минуты!

Магнетронные системы ионного распыления

Системы построены на постоянных и/или компактных электромагнитах большой мощности. Конструкция магнетронов позволяют создавать магнитные поля любой конфигурации и распылять ферромагнитные материалы.

Вакуумные дуговые источники плазмы (plasma gun)

Разрабатываются, изучаются и совершенствуются вакуумно-дуговые источники плазмы с пониженным содержанием капельной фазы и увеличенным ресурсом работы.

Ведется создание магнитных систем, способных создавать большие напряженности магнитных полей, а также систем управления движением катодным пятном дугового испарителя для оптимизации выработки катода.